一种基于微棱镜构建参考反射面的垂直出射光纤准直器

本发明属于探头式干涉测量技术领域，具体涉及一种基于微棱镜构建参考反射面的垂直出射光纤准直器。本发明通过在准直器透镜前面设计一个分光棱镜，使得将准直器直接出射光改为垂直出射，并通过增加反射膜、透射膜和消光处理等方式在光纤准直器内部获得唯一参考反射面。本发明可以根据测试需求，让分光棱镜采用不同的分光比，并且通过提供参考反射面，实现等效双光束干涉。本发明的出射光束与准直器机械轴垂直，适用于大深径比零件内腔测量。