集成时域与频域均衡的超宽带电光调制器及其制备方法

本申请提供了一种集成时域与频域均衡的超宽带电光调制器及其制备方法，该超宽带电光调制器包括：硅衬底、二氧化硅埋氧层、氮化硅波导、锆钛酸铅薄膜波导、第一共面行波电极和二氧化硅包埋层；锆钛酸铅薄膜波导构成两个并行臂，两个并行臂的第一区段被正向极化，第二区段被反向极化，氮化硅波导层设于第一区段中与第二区段相接的区段；第一共面行波电极用于传输微波信号；基于微波信号在正向极化区段对光信号进行正向相位调制，在反向极化区段对光信号进行反向相位调制；氮化硅波导在微波信号与光信号之间引入时域延迟；基于该时域延迟提高光信号正向相位调制和反向相位调制的微波损耗差异，以补偿高频调制响应衰减，实现时域和频域的联合均衡。