基于平面波的照明系统及曝光设备

本发明公开了一种基于平面波的照明系统及曝光设备，包括：第一反射镜，波前像差检测模块相对于光线入射方向倾斜，第一反射镜用于接收来自光源的光线并对光线进行反射；第二反射镜，用于接收第一反射镜反射的光线并对光线进行扩束；第三反射镜，用于接收第二反射镜反射的光线并对光线进行准直后向目标物反射光线。本发明中通过第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜的反射路径，实现光路折叠，大幅缩短照明系统的轴向长度，显著节省空间。三个反射镜的结构数量远少于传统多透镜组，且反射镜的定位精度要求低于多透镜的同轴度要求，简化了照明系统整体的结构设计和装配流程，降低了系统复杂度和使用成本。