一种双Y型精准定位装置及其控制方法

本发明提供了一种双Y型精准定位装置及其控制方法，该装置包括：基座；双Y型运动机构，双Y型运动机构设于基座上，其包括对称设置的第一Y型分支和第二Y型分支，第一Y型分支和第二Y型分支的末端均设有执行端，二者通过中间连接部联动；驱动组件，驱动组件与双Y型运动机构连接，用于驱动第一Y型分支与第二Y型分支沿X轴、Y轴做直线运动以及绕轴做旋转运动；检测组件，检测组件包括多个分别用于检测第一Y型分支、第二Y型分支及执行端的实时位置信息的位移传感器；控制模块，控制模块与驱动组件、检测组件电连接，用于接收检测组件的位置信息，并控制驱动组件的运行参数。本发明结构稳定、能有效抑制运动耦合干扰且控制精准。