声表面波滤波器压电薄膜旋涂与固化同步加工装置

本发明涉及表面波滤波器制造技术领域，具体为声表面波滤波器压电薄膜旋涂与固化同步加工装置，包括同步加工底座和同步加工架，所述同步加工底座的顶部固定设置有同步加工架，且同步加工架的一侧分别固定设置有送料架和出料架。本发明通过将固化模块与旋涂模块集成于同一加工工位，实现旋涂过程与固化过程的同步进行，同时依托自动送料架、出料架及多工位旋转结构，完成基底从送料、定心、加工到出料的全流程自动化操作，无需人工转移或辅助，大幅缩短单次加工周期，减少外界污染对薄膜的影响，显著提升声表面波滤波器压电薄膜的量产能力与加工稳定性，更适配规模化生产需求。