一种麦克风及其制备方法、电子设备

本申请提供一种麦克风及其制备方法、电子设备，涉及声学器件技术领域，麦克风包括线路板以及在线路板上盖设的罩壳以在线路板上形成容置空间，容置空间内设置有支撑结构和MEMS芯片，MEMS芯片通过线路板上开设的声孔以及支撑结构上透气区域形成的气流通道接收外界的声音信号；支撑结构包括贴合线路板依次设置的下硅托层、下氧化层、硅基材料网格层、上氧化层、硅键合层和上硅托层，下硅托层、下氧化层和上氧化层位于透气区域均镂空，硅基材料网格层位于透气区域的部分阵列设置透气孔，上硅托层位于透气区域的部分形成由第一通孔和第二通孔接续而成的阶梯孔，能够有效的提升麦克风关键性能指标，兼顾恶劣环境或极端条件下的防尘、防水要求。