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기록

半导体结构及其制造方法、存储器系统

발명유효
7조회수
28청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

赵婷婷; 霍宗亮; 高晶; 李思晢; 张文博; 张增鹏

IPC 분류

H10B 43/27 (2023.01)H10B 43/35 (2023.01)H10B 43/40 (2023.01)G11C 11/408 (2006.01)G11C 11/4094 (2006.01)G11C 11/4097 (2006.01)

本申请实施例提供了一种半导体结构及其制造方法、存储器系统。该半导体结构包括:第一堆叠结构、第二堆叠结构、半导体层、第一阶梯结构、第二阶梯结构以及连接结构。其中,第二堆叠结构位于第一堆叠结构的一侧。半导体层位于第一堆叠结构与第二堆叠结构之间。第一阶梯结构位于第一堆叠结构中,并包括沿周向方向分布的多个第一台阶结构。第二阶梯结构位于第二堆叠结构中,并包括沿周向方向分布的多个第二台阶结构。连接结构沿第一堆叠结构和第二堆叠结构的堆叠方向延伸,并与一个第一台阶结构和一个第二台阶结构连接。