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기록

图像传感器的像素结构及其制作方法、图像传感器

발명유효
12청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

李浩业; 刘强; 林宏; 陈武佳

IPC 분류

H10F 39/00 (2025.01)H10F 39/18 (2025.01)

本发明提供一种图像传感器的像素结构及其制作方法、图像传感器,所述像素结构包括:形成于第一衬底上的光电转换二极管、电荷转移闸门晶体管与浮动扩散缓存,以及形成于第二衬底上的第一存储电容控制晶体管、第二存储电容控制晶体管、第一源跟随器晶体管与行选择器晶体管,且位于不同衬底上的晶体管通过互连工艺连接构成双层像素结构。本发明将光电转换二极管与至少一部分晶体管设置于不同的衬底上,从而使得光电转换二极管能够获得更大的面积,同时又可以保证满阱电容与量子效率,对工艺的要求也无需提高。另外,源跟随器晶体管也可以获得足够的面积来降低噪声。