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固体量子传感器模块以及传感器装置
발명유효
8조회수
20청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
小川健一; 三好彻; 森胁政仁
IPC 분류
G01R 33/20 (2006.01)G01N 24/00 (2006.01)G01R 33/032 (2006.01)
本发明提供一种固体量子传感器模块,其具备:基板,其具有第一主面以及位于上述第一主面的相反侧的第二主面;固体元件,其位于上述基板的上述第一主面侧,并具有色心;导光板,其位于上述基板与上述固体元件之间;微波场发送用天线;光源,其位于上述基板的上述第一主面侧,并放出包含将上述色心从基态激发为激发态的第一波长的光;以及光检测器,其位于上述基板的上述第一主面侧,并检测从上述固体元件放出的包含第二波长的光致发光,上述固体元件在沿着上述基板的上述第一主面的法线方向观察的情况下与上述微波场发送用天线重叠,上述光检测器在沿着上述基板的上述第一主面的法线方向观察的情况下不与上述微波场发送用天线重叠。