空间光调制单元及曝光装置

空间光调制单元包括空间光调制器和罩，该空间光调制器包含具有二维排列的多个反射镜的调制部、包围所述调制部的框体/以及搭载有所述调制部和所述框体的基板，所述罩在所述空间光调制器中位于光射入所述调制部的一侧，安装于所述空间光调制器且限制光向所述框体的射入，所述罩具有开口部，光经由所述开口部射入所述调制部。