确定光刻设备上的基准劣化的方法

公开了一种确定光刻设备上的基准劣化的方法，所述方法包括：从所述光刻设备的测量侧获得第一基准度量数据；从所述光刻设备的曝光侧获得第二基准度量数据；确定描述所述第一基准度量数据与所述第二基准度量数据之间的相关性的相关性度量；以及确定基准是否已经从所述相关性度量劣化。