一种涂胶机及改善涂布边缘色差的方法

本发明涉及一种涂胶机及改善涂布边缘色差的方法，涉及光阻涂布设备技术领域，包括机体、顶盖、转台、驱动组件、抽吸组件，还包括调控装置，所述调控装置包括储存有惰性气体的储存部件、安装部件以及用于输出惰性气体的输出部件，安装部件设置于顶盖，储存部件通过管路与安装部件相连通，所述管路设置有流量控制部，输出部件的上端连接于安装部件，输出部件的下端构造有出风口，出风口与安装部件相连通，且出风口位于定位槽的正上方，出风口用于输出惰性气体，且使惰性气体沿转台的径向流动并形成径向气流；本涂胶机，能够进一步提高基板边缘光刻胶的均匀性，有效改善甚至消除光刻胶旋涂过程中边缘出现色差的问题。