一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及其处理工艺

本申请提供了一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及其处理工艺，涉及超纯水处理领域，包括原水箱，设置在所述原水箱外侧的原水泵，设置在所述原水泵和原水箱上的连接管，本申请为了解决现有技术中活性炭过滤器的使用会随着时间的推移发生堵塞，这时需要更换活性炭滤芯，使得过滤工作中断，影响废水处理效率的问题，本申请通过设置的清理机构，通过清理机构驱使活性炭转动，并通过经过第一次过滤的废水对活性炭进行反洗，减少了活性炭堵塞导致过滤工作不能进行的情况，提高了废水的处理效率；通过设置的清理机构，解决了现有技术中过滤装置单次过滤导致效率较低的问题；通过设置的清理机构，解决了现有技术中反洗水直接排放导致浪费的问题。