一种高纯液化气回收再利用的装置及方法

本发明涉及电子特气尾气回收技术领域，公开了一种高纯液化气回收再利用的装置及方法，装置包括通过管道依次连接的负压罐、负压泵、间歇精馏塔、精品缓冲罐和隔膜压缩机，所述负压罐的进气口连接有钢瓶残气管路和/或称重余气管路,所述隔膜压缩机的排气口与待充气的钢瓶相连。本发明在一套装置中即可高效的实现了充装分析尾气和钢瓶尾气的回收，避免了环境污染，也保证了精品充装排不被杂质污染，保证了仪器后压力的稳定，避免分析结果受到影响。本发明结构及方法简单，效率较高，为生产单位的提产降耗提供了方法和思路。