一种基于MEMS技术的微型化芯片式预浓缩装置

本发明公开了一种基于MEMS技术的微型化芯片式预浓缩装置，所述装置包括：芯片式浓缩模块、质量流量计、六通切换阀以及真空泵；所述六通切换阀的第一连接端口连通载气气源，所述六通切换阀的第三连接端口以及第六连接端口分别连通所述芯片式浓缩模块的两端，所述六通切换阀的第五连接端口连通所述质量流量计的进口，所述六通切换阀的第二连接端口连通分析仪器，所述六通切换阀的第四连接端口连通样品气出气管线；所述质量流量计的出口与所述真空泵连接。本发明引入微机电系统技术，通过硅基刻蚀工艺制备集成芯片式捕集脱附结构得到的芯片式浓缩模块，替代了传统管式的捕集脱附结构，实现了进样系统体积缩减，热容量降低，显著提升热响应速度。