一种等离激元超材料吸收体、光热敏感器件及制备方法

本发明属于等离激元光热技术领域，公开了一种等离激元超材料吸收体、光热敏感器件及制备方法，其中的等离激元超材料吸收体为各向同性吸收体，包括依次层叠设置的衬底层、氮化物薄膜层、间隔层和氮化物方形棱柱阵列层；所述氮化物方形棱柱阵列层呈若干方形棱柱呈周期性排列，所述方形棱柱为正方形棱柱且棱柱的棱角半径小于等于5nm；所述氮化物薄膜层和氮化物方形棱柱阵列层均为金属氮化物。本发明在410‑910nm波长范围的各向同性吸收下吸收偏振波动能够大幅降低，可达到对激发光80％以上的光吸收率，并仍能产生高偏振诱导温差，提高了信号的准确性，实现了各向同性吸收下的偏振敏感光热效应。