一种薄膜铌酸锂调制器的折射率梯度型包层及制备方法

本发明涉及一种薄膜铌酸锂调制器的折射率梯度型包层及制备方法，属于光子器件热管理及稳定性增强技术领域，本发明的包层结构通过贴合内层、导电缓冲层和高热导率外层的多层堆叠设计，交替使用Al O、AZO、AlN等层组合，使热导率或电导率呈指数型/台阶型跳变。本发明在靠近电极区域采用高导电缓冲层，远离波导区使用高热导率外层材料，构建非均匀调控结构，实现定向热释放与非均匀电压分布优化，该结构适用于热‑电耦合非对称调控场景；本发明通过控制沉积速率与退火梯度，调控晶粒尺寸与应力分布，使各层之间具备连续热扩散通道与电场缓冲斜率，制备工艺简单、热流导通稳定，适用于热主导型稳定性优化场景，增强特定区域的光场屏蔽或热场聚焦能力。