偏置预存表的生成方法、减少OPC迭代次数的方法

本发明公开了一种减少光学邻近效应校正迭代次数的方法。该方法首先通过对历史校正数据进行统计学习，建立一个偏置预存表。该表将不同类型的图形片段及其局部几何特征(如线宽和间距)映射至一个优化的特征偏置值。在进行校正时，首先对待校正版图的各片段查找预存表中对应的特征偏置值，进行一次预校正得到预处理版图，再将该预处理版图作为初始输入进行迭代计算。本发明通过提供一个更优的初始版图，有效减少了OPC迭代次数，缩短了运行时间，并提高了系统稳定性。