微型扬声器结构及其形成方法

本发明公开一种微型扬声器结构及其形成方法，其中该微型扬声器结构包括基板、振膜、线圈、承载板以及永久磁性元件。基板具有中空腔室。振膜设置在基板之上并覆盖中空腔室。振膜包括从振膜的第一表面凹陷的蚀刻图案。蚀刻图案用于增加特定频率范围内的声压级。线圈嵌入于振膜中。承载板设置在基板的底表面上。永久磁性元件设置在承载板上且位于中空腔室中。振膜的第一表面面向永久磁性元件。