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快闪存储器单元及三维快闪存储器装置
발명유효
14조회수
20청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
陈达
IPC 분류
H10B 41/35 (2023.01)H10B 41/27 (2023.01)H10B 41/41 (2023.01)
一种快闪存储器单元及三维快闪存储器装置,该快闪存储器单元包括沟道结构、第一栅极、第二栅极、存储结构、源极线柱和位线柱。沟道结构形成在基底上方。第一栅极邻近于沟道结构。第二栅极与第一栅极和沟道结构相隔开。存储结构邻近于沟道结构。源极线柱和位线柱分别邻近于沟道结构的相对侧壁。再者,第一栅极不与沟道结构垂直地重叠。