검색으로 돌아가기
기록
铁电隧道结、存储器及铁电隧道结制备方法
발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
北京大学
발명자
刘飞; 郁明
IPC 분류
H10N 70/20 (2023.01)H10N 70/00 (2023.01)G11C 11/22 (2006.01)
本发明涉及集成电路技术领域,提供一种铁电隧道结、存储器及铁电隧道结制备方法,所述铁电隧道结包括:电极层、铁电层、导电功能层和半导体层,所述铁电层位于所述电极层和导电功能层之间,所述半导体层位于导电功能层背离所述铁电层的一侧,所述导电功能层的厚度小于等于10nm。本发明中,上述结构的铁电隧道结引入了导电功能层,从而提高了铁电隧道结的开关比、稳定性以及避免了读取电压比较高导致的功耗高的问题。