气体供给机构、半导体制造系统以及余量监视方法

本发明的课题在于提供一种能够高精度地识别原料的余量的技术。气体供给机构供给使原料气化得到的原料气体。气体供给机构包括：内侧容器，其收容所述原料；外侧容器，其具有能够相对位移地收容所述内侧容器的空间，并且使从所述内侧容器的所述原料产生的所述原料气体向外部流出；以及检测器，其检测所述内侧容器的重量相关的指标。在通过所述检测器来检测所述内侧容器的重量相关的指标之前，所述外侧容器的所述空间被减压至比大气压低的真空气氛。