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기록

一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备

발명유효
2조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

曹玉宝; 高树良; 李方; 晏彬; 王建波

IPC 분류

B23P 19/02 (2006.01)

本发明涉及单晶硅炉技术领域,公开了一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备,包括底座台,底座台上方滑动连接有两个半炉体,两个半炉体合并时可形成完整炉体,半炉体的内部均依次设置有保温层和加热层,底座台上方设有操作轴,操作轴上方安装有可拆卸的坩埚炉,两个半炉体外侧设有可增强两个半炉体合并时稳定性的紧固组件,底座台的上方设置有将坩埚炉向上抬取的拖取组件,通过拖取组件,在半炉体、保温层和加热层分离并固定后,沿着坩埚炉外壁下降,从坩埚炉底部施加抬升力,将坩埚炉向上抬取,实现坩埚炉的拆除处理,实现了坩埚炉拆除的自动化操作,减少了在拆除过程中对坩埚炉及其他部件的损伤。