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기록

一种离轴非球面镜抛光方法、装置、设备及存储介质

발명유효
10청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张瀛怀; 冯畅; 张鑫; 张斌智; 林培文; 李鑫; 房圣桃

IPC 분류

B24B 1/00 (2006.01)B24B 13/00 (2006.01)G06F 30/10 (2020.01)

本发明涉及机床加工技术领域,本发明公开了一种离轴非球面镜抛光方法、装置、设备及存储介质,其包括建立母非球面几何模型,并基于母非球面模型和预设的设计需求划分出离轴区域;基于离轴区域进行轨迹规划,以得到抛光路径;基于离轴区域构建去除函数模型;从待抛光的离轴非球面镜上获取面形残差,并基于去除函数模型、面形残差和抛光路径求解得到驻留时间;构建五轴机床运动学模型;将驻留时间和抛光路径代入五轴机床运动学模型,以得到抛光控制参数;本发明通过离轴区域定位、路径规划、去除建模、驻留求解及坐标转换的流程设计,实现对离轴非球面镜非对称结构的加工精度的稳定控制,稳定满足高性能光学系统对离轴非球面镜的高精度制造需求。