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一种N型金刚石材料及其制备方法
발명유효
4조회수
8청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
苑鸿雯
IPC 분류
C01B 32/28 (2017.01)H10P 95/90 (2026.01)H10P 30/28 (2026.01)H10P 30/20 (2026.01)
本发明提出了一种N型金刚石材料及其制备方法,属于半导体材料技术领域。本发明的N型金刚石材料的晶格结构中包括锂原子和氮原子,制备方法为:将原始金刚石片与碳酸锂粉末混合,压力退火处理后得到注锂金刚石,之后对所述注锂金刚石进行N等离子处理,得到注锂、氮金刚石,之后将所述注锂、氮金刚石置于液氮中冷却得到。本发明的N型半导体金刚石在常温常压下稳定存在,为金刚石电子器件的实际应用奠定了材料基础。