一种双重水制备中的纯化方法

本发明公开了一种双重水制备中的纯化方法，包括以下步骤：S1、将原水依次经砂滤、活性炭吸附、保安过滤和反渗透处理，得到一级纯水；S2、向一级纯水中注入亚硫酸钠溶液，进行湍流反应，得到还原纯水；S3、还原后的纯水，进行混床处理，得到混床纯水；S4、将混床纯水通入EDI模块，进行连续电除盐处理，得到除盐纯水；S5、将除盐纯水依次进行紫外杀菌、超滤除菌及膜脱气，得到双重水。通过在反渗透产水阶段引入亚硫酸钠还原步骤，使高价金属离子发生定向价态转化，进而消除高价金属离子的污染隐患，阻断金属离子对硅片表面的吸附路径，从而进一步提升芯片制造的栅氧良品率，同时降低器件漏电等电性能劣化风险。