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一种合成石英厚壁管制备方法
발명유효
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§ Ⅰ
개요
발명자
王海亮; 张源; 郭忠仁; 张海军; 张国武; 徐秀杰; 刘利; 杨阳; 张野; 李建新; 王雅明; 高仙羽; 刘思宇
IPC 분류
C03B 20/00 (2006.01)C03B 19/04 (2006.01)
本发明涉及石英管制备领域,尤其涉及一种合成石英厚壁管制备方法,包括:先利用四氯化硅水解生成高纯度石英砂;后利用离心熔融法制备通过控制模具转速与第一预设温度实现管材成型;再通过双检测点透光参数判断成型质量;而后在达标后以第二预设温度退火消除内应力;最后针对成品不合格情况,依次通过内表面粗糙度、锥度校验定位问题,并结合析晶区域面积分析失效原因。该工艺实现了合成石英厚壁管制备过程的全流程质量监控,从透光性、内表面粗糙度、锥度及析晶区域面积多维度进行质量检测与调控,有效提升了管材成品的光学性能、尺寸精度与结构稳定性。