一种氮化铝陶瓷基板减薄用钻石垫切削液及其制备方法及其应用

本发明属于新材料领域，公开了一种氮化铝陶瓷基板减薄用钻石垫切削液及其制备方法，该氮化铝陶瓷基板减薄用钻石垫切削液，以重量份计，包括：超细氧化铝研磨粉1‑3份、表面活性剂0.05‑1.0份、絮凝剂0.01‑1.0份、其他助剂0.1‑3.0份、去离子水50‑90份。该切削液适合氮化铝陶瓷基板的表面研磨，具有较高的研磨效率，去除速率稳定，去除效果好。