兼具高硬度与自润滑性能的AlCrSiWN/CrMoN纳米多层复合涂层及其制备工艺

本发明公开了一种兼具高硬度与自润滑性能的AlCrSiWN/CrMoN纳米多层复合涂层及其制备工艺，属于涂层技术领域。该多层复合涂层是由AlCrSiWN高硬层与CrMoN自润滑层交替沉积形成的调制涂层，其总厚度3~4μm，周期厚度0.011~0.038μm。该涂层制备过程为：先制备具有柱状晶结构的AlCrN过渡层，然后同时开启AlCrSiW和CrMo靶，通过调控真空镀膜腔内转架转速为0.6 r/min~1.5 r/min，制备了具有纳米级调制周期软硬交替的AlCrSiWN/CrMoN纳米多层复合涂层，软硬交替的多层结构能在保持涂层较高硬度的同时，提升涂层韧性和自润滑性能，有效抑制裂纹扩展。