一种用于多弧离子镀设备的工艺气体智能控制系统及方法

本发明公开了一种用于多弧离子镀设备的工艺气体智能控制系统及方法，涉及物理气相沉积技术领域，包括数据监测系统、数据决策系统、指令执行系统和学习优化系统；所述数据监测系统用以实时监测工艺腔体内的工艺监测参数并执行腔体密封性测试；所述数据决策系统与所述数据监测系统信号连接，用以接收并处理数据监测系统所获得的工艺监测参数，并生成控制指令，以自适应设备安全校准、引弧预充和稳态沉积的工况；所述指令执行系统与所述数据决策系统信号连接，用于接收并执行所述数据决策系统的控制指令；所述学习优化系统与所述数据监测系统、所述数据决策系统信号连接；实现工艺的多模态智能切换以及真空度快速、稳定、无超调控制。