一种基片台结构、TGV基板的种子层沉积设备及方法

本申请公开了一种基片台结构、TGV基板的种子层沉积设备及方法，基片台结构包括：基片台本体；绝缘支撑部，绝缘支撑部设置于基片台本体的上表面，绝缘支撑部被配置为适于贴合支撑TGV基板；第一顶升部，第一顶升部被配置为能够向上穿过绝缘支撑部，以顶升TGV基板；第二顶升部，第二顶升部被配置为能够向上顶升绝缘支撑部至与基片台本体分离。本申请通过设置绝缘支撑部以贴合支撑TGV基板，可有效防止TGV基板与基片台本体之间发生打火异常；另外，绝缘支撑部与基片台本体之间的可分离式设计，使得在更换绝缘支撑部的时候，可通过第二顶升部将绝缘支撑部顶起，然后再取走绝缘支撑部并进行更换，高效便捷，有助于提升生产效率。