검색으로 돌아가기
기록
一种低热预算的氧化铪基铁电薄膜退火工艺及氧化铪基铁电薄膜
발명유효
5청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张盛; 许文嘉; 张宁
IPC 분류
C23C 14/58 (2006.01)H10B 53/30 (2023.01)C23C 16/56 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)C23C 16/40 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)
本发明提出了一种低热预算的氧化铪基铁电薄膜退火工艺及氧化铪基铁电薄膜，涉及铁电薄膜领域，对所述氧化铪基铁电薄膜采用多次低温快速退火循环，包括以下步骤：以10‑80K/s的升温速率，升温至退火温度400℃，保温15‑120s，以不小于10K/s的冷却速率，冷却至室温后，再进行下一次退火循环。通过重复的快速退火循环改变薄膜内部缺陷分布；引入多次快速冷却，使薄膜内部产生多次增强的应力，协同调控氧化铪相变势垒，促进由非铁电的高温四方相向铁电正交相进行转变，避免了对高退火温度的需求。