一种用于半导体设备的稳流模块及其使用方法

本发明公开了一种用于半导体设备的稳流模块及其使用方法，其属于半导体设备技术领域，所述用于半导体设备的稳流模块包括外壳，外壳的一侧均匀设有进气端接口，外壳对称的另一侧设有出气端接口，进气端接口和出气端接口的数量相同，进气端接口和出气端接口之间一一对应，进气端接口和出气端接口之间通过曲折的整流通道连接。通过进气端接口和气体导入组件的出气口相连，出气端接口和反应腔室的进气口相连，将气体导入组件中的湍流气体通过进气端接口通入整流通道中，经过弯折的整流通道将湍流状态下的进气气流，稳定成为层流状态。本发明中层流状态下的气流通过出气端接口通入反应腔室中，提高了反应腔室内气体分布的均匀性，解决了因气流扰动导致反应腔室内薄膜均匀性不足的问题。