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기록

一种双通道结构复合左右手超材料波导的双面辐射装置

발명유효
1조회수
7청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

刘杰; 陈博宇; 李凯宇; 邓天松; 叶奕晶; 徐超男; 怀靖博

IPC 분류

C23C 16/511 (2006.01)C23C 16/27 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01)

本发明公开了一种双通道结构复合左右手超材料波导的双面辐射装置,包括若干个波导单元、输入波导和隧穿波导,其中,由多个周期性重复的波导单元排列形成超材料阵列;一输入波导,连接于所述超材料阵列的一端,用于馈入电磁波;一隧穿波导,设置于所述输入波导与所述超材料阵列之间;其中,波导单元包括第一谐振腔、第二谐振腔和设置在第一谐振腔与第二谐振腔之间的上通道和下通道,所述上通道和下通道用于分别在所述超材料阵列的上表面和下表面传输电磁波。本发明可应用于双面等离子体化学气相沉积等领域,能够倍增设备的空间利用率和生产效率,具有显著的技术优势和广阔的应用前景。