碳纳米管CVD生长炉温度场多区域协同控制方法及系统

本发明涉及控制系统技术领域，公开了碳纳米管CVD生长炉温度场多区域协同控制方法及系统，包括获取多个温区的实时温度，计算各温区的温度偏差；计算实际温度梯度，若实际温度梯度的变化率超过预设阈值，则计算梯度维持偏差，否则梯度维持偏差为零；计算增益权重；计算对各温区的预测性热扰动补偿量；计算第一控制项；预测性热扰动补偿量构成第二控制项；梯度前馈校正量构成第三控制项，梯度前馈校正量与温区的梯度维持偏差成比例；将第一控制项、第二控制项与第三控制项的和作为温区的功率控制量。本发明实现了局部温度控制与整体温度的统一协调，为碳纳米管生长提供了稳定的热环境，提高了碳纳米管生长的一致性和均匀性。