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一种氮化物籽晶的培育方法
발명유효
12조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
马嘉赛
IPC 분류
C30B 23/00 (2006.01)C30B 29/40 (2006.01)
本发明属于氮化物晶体生长技术领域,具体涉及一种氮化物籽晶的培育方法,将AlN烧结体粉末置于坩埚的底端,然后于AlN烧结体粉末的上方设置导流罩,在导流罩上方依次设置底钨环,底钨环上方设置中钨环,将底部粘接AlN籽晶的籽晶托架设在中钨环上,再于籽晶托的上方设置顶钨环,然后将坩埚加盖完成填料与装配,将坩埚置于晶体生长炉中,然后升温使坩埚底部温度为2280‑2300℃,顶部温度为2200‑2230℃进行AlN籽晶培育即得,本发明通过热场与坩埚结构的设计,使得在晶体生长的同时进行籽晶培育,单次即能培育多个籽晶,提高了晶体生长炉的生产效率,降低了籽晶培育成本;可得到许多不同取向的籽晶。