一种双重强电磁的抗振导轨

本发明涉及抗振和减震技术领域，公开了一种双重强电磁的抗振导轨，包括第一重悬浮装置、电磁导轨基座、第二重悬浮装置和载物模块；所述第一重悬浮装置的内包络电磁板在外包络电磁板的电磁作用下悬浮；所述内包络电磁板和电磁导轨基座固定连接；所述电磁导轨基座的双侧限位槽内固定设有第二重悬浮装置，载物模块的永磁板设置在第二重悬浮装置的上方。本发明采用了双重电磁防震体系，包括第一重悬浮装置和第二重悬浮装置，分别使得电磁导轨基座和载物模块悬浮，从而减少导轨受到的地面和运行振动；利用光的偏折来计算物体温度对轨道槽的影响，并且通过液冷盘对温度校正，保证轨道的变形程度，进一步实现高精密度的效果。