红外制冷探测器焦平面位置误差检测装置及方法

本发明公开了红外制冷探测器焦平面位置误差检测装置及方法，属于光学检测技术领域。所述装置包括光学平台，以及其上设置的由伺服电缸驱动的调节架、带有精密调平机构的安装板、转接板和红外自准直仪。方法核心在于，首先，利用立方体反射镜和自准直平行光标定理论基准，测量探测器内部焦平面的倾斜误差；其次，更换为带镜头的另一波段自准直仪，利用其会聚光分别对探测器窗口和内部焦平面进行聚焦定位，通过测得的位移差结合光学追迹计算轴向位置误差。本发明实现了对封装探测器内部焦平面形位参数的非接触、高精度一体化测量，解决了该参数难以直接测量的技术难题。