一种对准扫描的触发延迟时间标定方法及装置

本申请提供了一种对准扫描的触发延迟时间标定方法及装置，其中，该方法包括：确定对准系统的掩模台和工件台的坐标位置，以根据坐标位置确定掩模台的标记的精确位置范围；针对每个传感器，控制工件台沿第一方向移动，以带动该传感器在精确位置范围内对掩模台的标记执行正向对准扫描，确定标记的第一标记位置，控制工件台沿第二方向移动，以带动该传感器在精确位置范围内对掩模台的标记执行反向对准扫描，确定标记的第二标记位置，通过第一标记位置和第二标记位置，计算该传感器的触发延迟时间；根据所有传感器各自对应的触发延迟时间，标定对准系统的最终触发延迟时间。通过本申请，提升了对准系统中触发延迟时间标定的精准度。