一种快速测试激光薄膜元件膜层反射率的装置及方法

本发明提供了一种快速测试激光薄膜元件膜层反射率的装置及方法，测试装置由激光器、激光薄膜元件、三维平台、截止器、探测器、上位机设备组成，激光器输出测试激光辐照激光薄膜元件待测膜层表面，部分光信号在前后两面膜层之间来回反射，同时在膜层表面产生相应透射光信号，形成中心坐标沿轴向移动，光强强度不断衰减的多光场叠加现象；基于激光薄膜元件的折射率、两膜层间的间距，确定每次来回反射后，相邻透射光强中心坐标间距；基于测试激光入射光强分布，相邻透射光强中心坐标间距，结合探测器获取背光面透射光中心轴向位置的光强信号以及已知参考膜层反射率，可以快速确定激光薄膜元件待测膜层反射率，且测试装置光路简洁，适应性强。