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기록
一种反射率快捷测量装置
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
中国科学院微电子研究所
발명자
齐威; 马敬; 齐月静; 徐天伟; 武志鹏; 周昕; 朱莉玲; 苏佳妮; 孟璐璐
IPC 분류
G01N 21/55 (2014.01)G01N 21/01 (2006.01)
本公开涉及光学检测技术领域,具体涉及一种反射率快捷测量装置,包括:齿轮组件,齿轮组件包括镜片驱动齿轮、延长摆臂驱动齿轮和旁置转换齿轮,延长摆臂驱动齿轮活动套设在镜片驱动齿轮上部,镜片驱动齿轮、延长摆臂驱动齿轮的中轴线重合;旁置转换齿轮包括上层齿轮和下层齿轮;镜片驱动齿轮与旁置转换齿轮的下层齿轮啮合,延长摆臂驱动齿轮与旁置转换齿轮的上层齿轮啮合;镜片驱动齿轮的齿轮数、延长摆臂驱动齿轮的齿轮数、旁置转换齿轮的上层齿轮的齿轮数之间的数量比为2:1:1;延长摆臂,延长摆臂一端与延长摆臂驱动齿轮上部相连接,延长摆臂另一端设有用于测量光束能量的功率计;镜片组件,镜片组件底部与镜片驱动齿轮顶部相连接。