一种微型的激光诱导击穿光谱检测方法及装置

本发明涉及激光诱导击穿光谱技术领域，且公开了一种微型的激光诱导击穿光谱检测方法及装置，包括以下步骤：利用脉冲激光聚焦于样品表面，激发待测样品产生高温等离子体；通过集成于芯片上的多通道光输入结构，从不同空间方位同步收集所述等离子体的光信号；将各通道收集的光信号通过所述芯片上的波导结构，传输至一片上分光元件；利用片上分光元件对各通道的光信号进行分光；处理所述各通道光谱信号，重建出用于元素分析的最终光谱。本发明，采用深紫外透明衬底与波导，并结合芯片级的真空/惰性气体密封，从根本上切断了深紫外信号与大气的接触，实现了深紫外波段信号的极低损耗传输。