激光系统的在线检测系统及方法

本发明涉及激光系统的在线检测系统及方法，解决目前激光系统中，不便于对镜片动态监测的技术问题。激光系统的在线检测系统，包括分光镜、相机和红外热像仪，其中分光镜设置于激光系统出射激光光束的光路上，激光光束经分光镜出射强光束和弱光束；相机设置于弱光束的光路上，相机获取弱光束的光斑；红外热像仪设置于激光光束的旁侧，红外热像仪用于扫描镜片表面，并生成温度分布图。本发明提供的激光系统的在线检测系统及方法通过相机判断光斑形状，在线实时监测及时发现镜片出现的污染物或者损伤，并用红外热像仪判断镜片的温度，以便于对镜片污染物或者损伤处进行定位，提高了对污染物或者损伤处的定位效率。