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기록
一种半导体气体传感器的单通多孔基底
발명유효
1조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
周清峰; 万竹桉; 梁健汉
IPC 분류
G01N 27/12 (2006.01)
本发明涉及一种半导体气体传感器的单通多孔基底,其特征在于,单通多孔基底包括对目标检测气体基于第一温度下的感测反应进行检测的功能区和用于将除目标检测气体外的至少部分杂质气体基于小于第一温度下的感测反应进行过滤的非功能区,非功能区用于功能区在高温环境发生形变时的转角补偿;功能区与非功能区通过若干悬架连接以减少功能区的热量散失;悬架能够通过热传导的方式将功能区上的热量传导至非功能区;功能区在受热条件下发生膨胀时的位移趋势能够在通过悬架与功能区连接的非功能区的拉应力下被限制,使得功能区能够保持与提供功能区热源的加热区域保持匹配。本发明可以减少进入功能区内的混合气体中杂质气体的占比,从而提高感测效率。