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기록

一种基于干涉的多层薄膜可饱和吸收镜及优化方法

발명유효
6청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

출원인

成都西蒙光科激光技术有限责任公司

발명자

韦晨; 刘文姝; 曹逊; 王东升; 李众少; 孙梵熙; 戴小淞

IPC 분류

G02B 5/28 (2006.01)G02B 5/00 (2006.01)G02B 27/00 (2006.01)H01S 3/1118 (2023.01)

本发明提供了一种基于干涉的多层薄膜可饱和吸收镜及优化方法,包括可饱和吸收材料薄膜,中间干涉层,金膜和硅基底;所述薄膜为具有可饱和吸收特性的平整薄膜;中间干涉层为沉积于金反射镜基底的ZnS薄膜层;金膜和硅基底共同构成金反射镜基底。通过调节所述薄膜和中间干涉层厚度达到薄膜干涉相消条件,使低光强时线性反射率极低;随光强增强,材料折射率变化和吸收系数下降直至被强光漂白,所述薄膜和中间干涉层的光学长度不再满足干涉相消,因此调制深度的上限不会因中间干涉层的引入而大幅下降。本发明能有效降低薄膜类可饱和吸收镜在低光强时的线性反射率或透过率而增大调制范围,达到提升调制深度的效果,本发明操作简单灵活性高,具有普适性。