一种基于回转离轴偶次非球面曲面镜的暗场照明装置

本发明公开了一种基于回转离轴偶次非球面曲面镜的暗场照明装置，用于对待检测工件的照明，包括环状离轴偶次非球面曲面镜和环形光源组，所述环状离轴偶次非球面曲面镜上有反射面，所述环形光源组位于反射面的焦点处附近，所述环形光源组发出的光线经过反射面的反射后在环状离轴偶次非球面曲面镜的轴线处形成照明面，待检测工件处在照明面上。利用偶次非球面优异的光学特性，可产生准直或汇聚的高质量光束，显著提升成像对比度和缺陷检测能力，环形光源与回转对称的光学设计相结合，从根本上消除了传统方案中的光斑热点和暗区。