抗蚀剂组成物及图案形成方法

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，感度及极限分辨率优良的非化学增幅抗蚀剂组成物，以及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有：超原子价碘化合物，为下式(1)～(4)中的任一者表示的至少1种，含羧基的聚合物，及溶剂；该含羧基的聚合物含有下式(5)表示的重复单元与选自下式(6)表示的重复单元、下式(7)表示的重复单元、下式(8)表示的重复单元、下式(9)表示的重复单元及下式(10)表示的重复单元中的至少1种。