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기록
一种涂胶显影设备的胶瓶更换用结构
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
발명자
王超群; 毛家伟; 陈艳双
IPC 분류
G03F 7/16 (2006.01)
本发明属于涂胶显影设备技术领域,具体地说是一种涂胶显影设备的胶瓶更换用结构,包括主支撑滑板、直线滑轨、固定边板,主支撑滑板上连接有若干个直线滑轨的滑动端,每个直线滑轨的固定端分别与一个对应的固定边板固接,各固定边板分别固接于胶瓶承载架上、并位于一个对应的胶瓶支撑板的下侧,主支撑滑板位于对应的胶瓶支撑板的下侧。本发明可在更换胶瓶时,能够将所需更换的旧的或新的胶瓶直接临时放在主支撑滑板上,更为靠近胶瓶支撑板,维护人员发生较多弯腰等不舒服的操作动作的情况随之减少,可有效减少维护人员工作负担,并提升更换作业工作效率,整体结构相对简单稳定,占用空间小,操作维护方便。