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一种光刻胶剥离液及其制备方法与应用
발명유효
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§ Ⅰ
개요
발명자
余娟娟; 谢伟; 赵建国; 王维康; 何烨谦; 黄德新; 龚升
IPC 분류
G03F 7/42 (2006.01)
本发明属于光刻胶技术领域,具体涉及一种光刻胶剥离液及其制备方法与应用。本发明的光刻胶剥离液,以质量百分数之和为100%计,其组成如下:有机醇胺20%‑40%、有机醇醚10%‑30%、壳聚糖衍生物5%‑10%、咪唑硅烷1%‑5%、胍类化合物0.5%‑2%、多元醇型非离子表面活性剂0.1%‑1%,余量为水;壳聚糖衍生物、咪唑硅烷、胍类化合物三者协同增效,避免了光刻胶残渣在液相中团聚,有效防止了光刻胶回粘现象的发生,且对金属基板无腐蚀;本发明的光刻胶剥离液在显示面板的制造过程中具有良好的应用前景。