一种双腔集成MEMS原子钟及其制备方法

本发明提供了一种双腔集成MEMS原子钟及其制备方法，属于微机电系统与精密计时技术领域。本发明在光子晶体调控层上设置阵列排布的腔体，此腔体的横截面为十字形，其具有正交对称性与双波段带隙特性，同时通过表面等离子体共振效应，提高了荧光信号强度，从而提高了光学效率；十字形结构具有对称热膨胀分布，热应力偏差低，从而提高热机械稳定性；波导线通过共面波导与光子晶体调控层中阵列排布的腔体耦合形成复合谐振腔，利用光子晶体调控层中阵列排布的腔体的慢光效应将原子与微波相互作用时间延长，从而提高了热机械稳定性；在共面波导层设置导电胶，其能够实现微波信号的有效传输，从而进一步提高光学效率。